Kunkemisti tai sähköasentaja haluaa muuttaakemiallisia ja fysikaalisia ominaisuuksia pinnanintegroitu piiri vohveli , se tunnetaan plasma- käsittely . Yksi muoto tästä käsittelyn kutsutaan plasmaksi etsaus , joka käyttäähohtopurkauksen ( tunnetaan plasma ) alkaenkaasuun . Vastuuvapauden vapautuu pulssejastream suurella nopeudella suoraannäytteen piiri. Lähdeplasma , joka tunnetaan nimellä etch lajeja , voi ottaa yhden kahdesta ominaisuuksista – ladattu , jotka on luokiteltu ioneja , tai neutraaleja , joka koostuu atomeista ja radikaaleista . Etch prosessointi alkaa ,ei vapauta virtasi päälle piiri luo haihtuvia etsausjäämien seurauksenavälisen kemiallisen reaktion etsattu materiaalia jaetch lajien luoma plasma . Fysikaaliset ja kemialliset ominaisuudet piirin lopulta ovat muuttuneet atomit plasmasta stream liittää tai tunkeutua pintaan . Riippuen kaasu , jota käytetäänplasman virran , plasmaetsaus polymeeri voi muodostuajälkeen jäännösprocess.Things tarvitset
Integrated kiekkojen piirit
Plasma etch polymeeri poistaja ( PRX – 127 )
raskaat suojakäsineitä
kirurgiset naamio
suojalasit tai suojalasit
Kuorinta säiliöt
Ionivaihdettu ( DI) huuhtele vedellä säiliön
linko tai spin – huuhtelu kuivausrumpu
Näytä lisää Ohjeet
1
plasmaetsaus polymeeri todennäköisesti muodostua käytön jälkeen plasmaetsaus käsittely fluorihiilipohjainen kaasuja, kuten hiilen hydrotrifluoride ja oktafluoripropaani . Nämä kaasut luoda tyydyttymättömien yhdisteiden plasmassa , joka siirretään sitten integroidun piirin kiekkoja. Ne on poistettava , jotta edelleen plasmakäsittelylaitteeseen jatkaa .
2 Take erityisen varovainen, vaarallisia kemikaaleja .
Plasmaetsaus polymeeri poistaja, joka tunnetaan PRX – 127 , onkemiallinen yhdiste , joka koostuu osia eetteriä , sulfoksidi ja hydroksidi , ja on erittäin vaarallista hengittää tai kosketa . On suositeltavaa, että ennen kuin alat käyttää tätä tuotetta , käsineet, silmälasien ja maski on käytettävä. Märkä – penkki Upotusprosessi on yksiturvallisempia tapoja käsitellä tätä yhdistettä , ja vaatii hyvin vähän fyysistä vuorovaikutusta .
3
Täytä kaksi strippaus säiliöitä , jotka on suunniteltu erityisestimärkä – penkki prosessi , jossaPRX – 127 -liuosta ja tuoda lämpötilaan 70-90 astetta. Asetavaikuttaa piirin kiekkojen varovasti yksisäiliöiden käyttää suojakäsineitä . Kiekkoja pitäisi pysyäratkaisu vähintään viisi minuuttia , kuitenkin enintään 20 minuuttia optimaalisen vaikutuksen . Mekaanisia tai Sonic – pohjainen levottomuus menetelmää suositella ensimmäisen kylpyamme .
4
Siirräkiekot ensimmäisestä strippaus tankistatoiseen , kunkylpy ohjelma on päättynyt , ja liotakiekot uudelleen viiden 20 minuutissa lisäsekoitus . Tämä toinen kylpy poistaa olemassa olevat kerrokset polymeerin alla jäännös pinnalle kiekon .
5 Ionivaihdettu vesi on täysin puhdasta vettä , jossa ei ole muita mineraaleja .
Poista kiekkojenPRX -127 liuosta ja siirtää ne kolmannelle tankissa SVC – 300 huuhtelu ,ratkaisu, jota käytetään pääasiassa maalin poistoon . Se on melko turvallista käyttää , koska se on myrkytöntä ja palamaton eikä vahingoitakiekkoja. Kiekkoja pitäisi pysyä tämän ratkaisun kahdesta kolmeen minuuttia . Siirräkiekot osaksilopullista ratkaisua – deionisoitua vettä – sisälläHuuhtelusäiliön kuudesta kahdeksaan syklit ja sitten käyttäälinko tai spin – huuhtelu kuivain poistaa kaikki jäljetratkaisu. Kiekkojen tulisi olla täysin vapaata polymeerien , ja ne ovat nyt turvallista käyttää uudelleen muissa plasmaetsattu käsittelyä .