sähkövastus johtuu elektronien sironta pois toisiaan ja poispuolinlanka. Tietyt materiaalit havaita mitään sähkövastus allekriittisen transitiolämpötila , ja näitä materiaaleja tunnetaan suprajohde . Mitä tahansa materiaalia, kutensuprajohteen voidaan kuvioida osaksitietty muoto, kuten esimerkiksipyöreä kappale , käyttäen menetelmää, joka tunnetaan kuva – litografia . Tähän prosessiin kuuluupaistaa ultraviolettivaloa läpierityisesti suunniteltu maski -levy , joka toimii kutensapluuna – luodakseenpattern.Things tarvitset
Spin päällystyskone
S1813 fotoresistin
S1813 kehittäjä
Mask aligner
Mask pyöreällä radalla
haihdutuskammio
Niobium pelletit
Kuumalevykoe
Si alustaan
Näytä lisäohjeita
1
Asetapiisubstraatista spin – päällystyskoneen istukka . Valitselinkousnopeus 3000 RPM , jaspin -aika on 2 minuuttia . Laitamuutama tippa S1813 alustalle ja aloitalinkousta.
2
Kytkekeittolevy ja aseta se 110 astetta ( 230 astetta Fahrenheit ) . Odota, kunneskuuma levy on saavuttanut asetetun pisteen lämpötilan . Näyte sähkölevylle 2 minuuttia . Poistanäyte ja anna sen jäähtyä .
3
Näytemaski aligner ja asetanaamiopyöreää rataa maskiin aligner näytteen yläpuolelle . Altista näyte ultraviolettivaloa 2 sekuntia .
4
Näyte otetaanS1813 kehittäjä 30 sekuntia . Kehittäjä poistaapaljasta osaanäytettä , jotka muodostavatympyrän seurata, että suprajohtava materiaali voidaan talletetaan .
5
Näyte höyrystimeen , ja laita muutama pelletit Niobium osaksihaihtuminen upokkaaseen . Haihdutetaan 100 nanometriä niobiumin . Näyte otetaanhaihdutuskammioon . Asetanäyte asetonia. Asetonia poistaa kaikki osatfotoresistin jättääsuprajohtavan pyöreää rataa . Näyte on valmis . Niobiumin suprajohtava alle 9,3 Kelvin .