atomit koostuvat positiivisesti varautunut ydin , jota ympäröipilvi negatiivisesti varautuneita elektroneja. Joskus atomit voivat saada tai menettää elektroneja , mikä johtaa heidät hankkimallapositiivinen tai negatiivinen varaus . Atomin kanssanettovaraus tunnetaanioni . Plasma onpilvi ioneja , ja ne voivat olla useita käyttötarkoituksiapuolijohtavasta jalostusteollisuuden . Plasma sisälle voidaanargon täytetty tyhjökammio käyttämällävirtalähde, joka tuottaa radiotaajuus ( RF ) radiation.Things tarvitset
RF alipainekammion Argon massavirtaussäätimen
Rotary pumppu
turbopumppu
RF virtalähde
RF sovitusverkon
2 RF -kaapelit
Näytä enemmän Ohjeet
1
Kytkepyörivä pumppu ja odotapaineen päästä 10 ^ -3 millibar . Kytketurbopumppu , ja odota, että se ylösajo . Odota, kunnespaine noin 10 ^ -6 millibaareja on saavutettu .
2
Liitä RF -kaapeliRF sovitusyksikkö ja RF- virtalähde . Kytke toinen kaapeliRF sovitusyksikkö jaRF alipainekammio elektrodin liittimeen .
3
Osittain lähelläventtiiliturbopumppu . KytkeArgon Massavirtaussäädin , ja asettaapaine 15 mbar . KytkeRF virtalähde ja sovitusyksikköön . Asettaaeteenpäin teho on 50 wattia . Sovitusyksikkö kuuluu kun se yrittää minimoidaheijastuu RF-teho . Kunheijastunut teho on pienempi kuin 1 prosenttia eteenpäin voima , lisäävät eteenpäin teho noin 150 wattia. Plasma kammiossa pitäisi syttyä , ja nähtävissä vaikkakammio view- porttiin . Hitaasti laskeaeteenpäin vallan takaisin 50 wattia . RF pari plasma on luotu .